实施指南(2025)《JBT 7621-1994 电力半导体器件工艺用高纯水》.pptxVIP

《JB/T7621-1994电力半导体器件工艺用高纯水》(2025年)实施指南;目录;;标准出台的行业背景与核心使命;;;未来行业趋势下标准的适配方向;;高纯水纯度为何是器件工艺的“生命线”;标准针对离子（如钠、氯）、微粒、微生物等杂质设定严格限值。例如，对关键离子含量的控制，是为避免其在高温工艺中与器件材料发生化学反应；微粒控制则防止其造成器件线路短路，这些指标均与器件制造的具体风险点精准对应。;（三）高纯水与不同工艺环节的适配要求;杂质超标对器件质量的影响机制;;;标准规定不同粒径微粒的最大允许数量，如≥0.5μm微粒≤100个/mL。这一设定结合