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2025及未来5年中国红外线截止滤光片市场分析及竞争策略研究报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u摘要 3
一、红外截止滤光片材料体系的底层失效机制与性能边界重构 5
1.1多层介质膜热应力失配导致的微裂纹生成动力学模型 5
1.2环境湿热老化对SiO?/TiO?堆叠结构折射率漂移的影响机制 7
1.3基底-镀层界面能匹配度对附着力退化路径的调控原理 10
二、晶圆级滤光片制造中良率瓶颈的工艺链溯源与解耦 13
2.1PECVD沉积速率波动对膜厚均匀性空间分布的非线性响应关系 13
2.2等离子体辉光放电不稳定性诱发的针孔缺陷概率函
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