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《硅微谐振压力传感器性能试验方法》.pdf

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    T/XXXXXXX—XXXX

    硅微谐振压力传感器性能试验方法

    1范围

    本标准规定了硅微谐振压力传感器性能的试验条件、试验的一般规定、试验项目及试验方法、数据

    计算及处理。

    本标准适用于硅微谐振压力传感器（包括绝压传感器、差压传感器和表压传感器，以下简称传感器）。

    2规范性引用文件

    下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

    仅该日期对应的版本适

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