第二章(之二)-晶体缺陷检测讲课文档.pptVIP

第二章(之二)--晶体缺陷检测;;;位错形成的一系列;（3）面缺陷;;;利用SIMS进行器件失效分析;杂质C（替位）的最强红外吸收峰波长:16.4μm

杂质O（间隙）的红外吸收峰波长：9.1μm;;（1）检测基本原理

在适宜的腐蚀剂中，晶体表面靠近位错附近的区域其腐蚀速度要比其它区域大，腐蚀一定时间后就会形成凹下的坑，即所谓腐蚀坑，利用这个特性可进行位错和层错的显示。;(100)硅片表面的位错;位错密度是垂直于位错线单位截面积中穿过的位错线数。

多点平均法。;;检测基本原理

当电子束照到晶体上，除了产生透射束（零级衍射）外，还会产生各级衍射束，经物镜聚集后，在其后焦面形成电子衍射谱像。电子衍射原理与X射线衍射原理相同，遵循布拉格衍射定律，但电子能量高，波长非常短（电子能量越大，电子波长越短。当加速电压为100kV时，电子的波长仅为0.0037nm；当E=30KeV时,λ≈0.007nm），衍射角小，因此电子衍射是对晶体二维倒易点阵结构的放大显示，根据显示图形可以鉴定所观察晶体的种类、结构、晶格常数等。

;;;自从60年代以来，商品透射电子显微镜都具有电子衍射功能（见电子显微镜），而且可以利用试样后面的透镜，选择小至1微米的区域进行衍射观察，称为选区电子衍射。;（a）非晶（b）单晶（c）多晶（d）会聚束硅单晶

图6.16典型电子衍射图;在位错存在的区域附近，晶格发生了畸变，因此衍射强度亦将随之变化，于是位错附近区域所成的像便会与周围区域形成衬度反差，这就是用TEM观察位错的基本原理，因上述原因造成的衬度差称为衍射衬度。

电子衍射作用远比X射线与物质的交互作用强烈，因而在金属和合金的微观分析中特别适用于对含少量原子的样品，如薄膜、微粒、表面等进行结构分析。;;光学显微镜（助教内容）;1、显微镜的构造;2、显微镜的性能参数;金相显微镜，是专门用于观察金属和矿物等不透明物体金相组织的显微镜，即反射式显微镜。它是鉴别和分析各种金属和合金的组织结构及缺陷的专业仪器。放大倍率100～1500倍。

;电子显微镜种类(自学）;

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统;分辨率;透射电镜实物图片;2、扫描电子显微镜(SEM);光学显微镜与电子显微镜的性能比较;3、扫描隧道电子显微镜(STM);;STM主体的主要部分是极细的探针针尖。工作时，探针针尖和被研究的样品的表面是两个电极，使样品表面与探针针尖非常接近，并给两个电极加上一定的电压，就会形成隧道电流，二者的间距不同，隧道电流大小也不同。通过电子反馈电路控制隧道电流大小，探针针尖在计算机控制下对样品表面扫描，同时记录下扫描样品表面的原子排列图象。;4、原于力显微镜(AFM);谢谢大家！