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几种CVD制备金刚石薄膜的方法

几种CVD制备金刚石薄膜的方法1.热丝CVD法

此法又称为热解CVD法，Matsumoto等人承受热丝CVD法成功地生长出了金刚石薄膜。该法是把基片(Si、Mo、石英玻璃片等)放在石英玻璃管做成的反响室内，把石英管内抽成真空后，把CH4和H2的混合气体输人到装在管中的钨丝四周(两种气体的流量比为0.5％-5％)。用直流稳压电源加热钨丝到约2025℃，反响室内温度为700～

900℃，基片温度为900℃左右，室内气体压力为1×103-1×105Pa。在这样的反响条件下，CH4和H2混合气中的H2被热解，产生原子态