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介质阻挡放电特性及高频高压放电电源技术研究

一、介质阻挡放电（DBD）特性分析

（一）介质阻挡放电机理与放电过程

介质阻挡放电，英文名为DielectricBarrierDischarge，简称DBD，它还有一个别称叫做无声放电。从原理上来说，介质阻挡放电是把绝缘介质插入放电空间的一种非平衡态气体放电，阻挡介质通常为玻璃、聚四氟乙烯、陶瓷等绝缘材料，这种设计能够有效抑制气隙内电流的无限增长，避免放电过渡到火花放电。在实际应用中，介质阻挡放电可以在高气压和宽频率范围内工作，产生大体积、高能量密度的低温等离子体，并且不需要真空设备就能在室温或接近室温条件下获得活性粒子。

其具体的放电过程与供给电压紧密相关。当供给的电压比较低时，虽然有些气体会有一些电离和游离扩散，但因含量太少电流太小，不足以使反应区内的气体出现等离子体反应，此时的电流几乎为零。随着供给电压的逐渐提高，反应区域中的电子也随之增加，但未达到反应气体的击穿电压时，两电极间的电场比较低，无法提供电子足够的能量使气体分子进行非弹性碰撞，缺乏非弹性碰撞的结果导致电子数不能大量增加。因此，反应气体仍然为绝缘状态，无法产生放电，此时的电流随着电极施加的电压提高而略有增加，但几乎可以忽略不计。若继续提高供给电压，当两电极间的电场大到足够使气体分子进行非弹性碰撞时，气体将因为离子化的非弹性碰撞而大量增加，当空间中的电子密度高于一临界值，即帕邢（Paschen）击穿电压时，便产生许多微放电丝导通在两极之间，同时系统中可明显观察到发光的现象，此时，电流会随着施加的电压提高而迅速增加。在1个标准大气压条件下，由于粒子间的碰撞频率较高，一个正在变大的电子雪崩在很短的距离就可产生相当规模的电荷密度。电子和离子飘移速度不同造成电荷分离，从而使局部电场在原电场基础上得到叠加，场强变大。在流柱头部的高场强区，碰撞电离导致电离区域的快速增长，从而形成明亮的等离子体通道。但是在介质阻挡放电过程中，由于介质层的存在限制了电流的自由增长，因此也阻止了金属电极间火花或弧光放电的产生。

（二）放电模式与微观特性

DBD呈现出细丝模式与均匀模式两种形态，这两种模式有着各自独特的特征。细丝模式由纳秒级脉冲微放电丝组成，这些微放电丝极为细小，直径约0.1-0.3mm，但它们的电流密度却高达0.1-1kA/cm2，当放电发生时，在介质表面会形成明亮的斑点，这些斑点就是细丝模式放电的直观体现。而均匀模式则是通过双介质或高频激励实现准连续放电，从宏观角度来看，它表现为稳定的辉光，给人一种柔和、均匀的视觉感受。

在微观层面，放电过程中电子温度（103-10?K）远高于气体温度，这种温度的巨大差异使得等离子体处于非平衡态。在这种非平衡态下，等离子体具备高活性自由基（如?OH、O?）产率，这些高活性自由基具有很强的化学反应活性。以?OH自由基为例，它的氧化能力非常强，能够与许多有机污染物发生反应，将其分解为小分子物质，甚至完全矿化为二氧化碳和水。在处理含苯废气时，?OH自由基可以与苯分子发生一系列复杂的化学反应，最终将苯转化为无害的物质。

DBD的伏安特性也十分独特，其脉冲电流呈现非均匀分布，正负半周放电不对称。这是因为在放电过程中，电子和离子的运动特性不同，以及介质表面电荷的积累和分布情况也会影响电流的分布。不同的气体种类、介质参数对其伏安特性影响显著。在以氮气为放电气体时，其伏安特性曲线与以氩气为放电气体时会有明显的差异；介质的厚度、介电常数等参数的改变，也会导致伏安特性发生变化。

（三）关键应用特性与技术优势

DBD在众多领域展现出了关键应用特性和显著的技术优势。在环保领域，它通过自由基氧化降解有机污染物，为解决环境污染问题提供了新的途径。在处理一些难降解的有机废水时，DBD产生的等离子体中的活性粒子能够破坏有机污染物的分子结构，将其分解为可生物降解的小分子物质，从而提高废水的可生化性，为后续的生物处理创造条件。在材料表面改性中，DBD实现了纳米级深度处理，这意味着它可以在不影响基体性能的前提下，对材料表面的物理化学性能进行精准调控。在微电子领域，通过DBD对材料表面进行改性，可以提高材料表面的粘附性，使得电子元件在材料表面的附着更加牢固，从而提高电子产品的稳定性和可靠性。

在准分子光源制备中，DBD可发射紫外-可见光窄带辐射，这种辐射具有高效率与高稳定性的特点。与传统的光源相比，DBD制备的准分子光源在紫外线固化、光催化等领域具有更好的应用效果。在紫外线固化领域，DBD准分子光源能够快速、均匀地固化涂料，提高生产效率和产品质量。

与传统放电技术相比，DBD无需真空环境，工作气压范围宽（0.1atm-10atm），这大大降低了设备的成本和使用难度。设备结构也十