特种气体系统工程技术标准.docxVIP

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目次

1总则 (1)

2术语 (2)

3特种气体站房 (7)

3.1一般规定 (7)

3.2特种气体站房布置 (8)

3.3特种气体设备布置 (9)

4特种气体工艺系统 (11)

4.1一般规定 (11)

4.2特种气体输送系统 (11)

4.3吹扫和排气系统 (14)

4.4硅烷工艺系统 (14)

5生命安全系统 (16)

5.1特种气体管理系统 (16)

5.2特种气体探测系统 (16)

5.3其他安全设施 (18)

5.4特种气体报警的联动控制 (19)

6特种气体管道输送系统 (20)

6.1一般规定 (20)

6.2材料选型 (20)

6.3管道设计 (21)

6.4管道标识 (22)

7建筑结构 (24)

7.1一般规定 (24)

7.2建筑防火 (24)

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7.3建筑构造措施 (27)

8电气与防雷 (28)

8.1配电与照明 (28)

8.2防雷与接地 (28)

9公用工程 (30)

9.1给水排水 (30)

9.2消防 (30)

9.3采暖通风与空气调节 (31)

10特种气体系统工程施工 (34)

10.1一般规定 (34)

10.2主要设备、材料进场验收 (34)

10.3气瓶柜与气瓶架的安装 (36)

10.4阀门箱与阀门盘的安装 (36)

10.5尾气处理装置及纯化器的安装 (37)

10.6特种气体管道安装 (37)

10.7特种气体管道改扩建工程施工 (41)

11特种气体系统工程验收 (42)

11.1一般规定 (42)

11.2设备验收 (42)

11.3管路与系统验收 (42)

11.4气体探测(监控)系统验收 (43)

附录A特种气体管道氦检漏方法 (44)

附录B电子工业用特种气体的主要物化性质

(单一气体) (45)

本标准用词说明 (50)

引用标准名录 (51)

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1总则

1.0.1为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。

1.0.2本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、施工和验收。

1.0.3本标准不适用于特种气体的制取、提纯、灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收。

1.0.4特种气体系统工程的设计、施工及验收除应符合本标准的规定外，尚应符合国家现行有关标准的规定。

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2术语

2.0.1特种气体specialtygas

电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。

2.0.2自燃性气体pyrophoricgas

也称作发火气体，是指在空气中等于或低于54℃时可能自燃的易燃气体。

2.0.3易燃性气体flammablegas

一种在20℃和标准压力101.3kPa状态时空气混合有一定易燃范围的气体。

2.0.4剧毒性气体highlytoxicgas

半致死浓度(空气中吸入4h)小于或等于100mL/m3的气体。

2.0.5毒性气体toxicgas

半致死浓度(空气中吸入4h)大于100mL/m3但不超过2500mL/m3的气体。

2.0.6腐蚀性气体corrosivegas

对材料或人体组织通过接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆变化的气体。

2.0.7氧化性气体oxidizinggas

一般通过提供氧气，比空气更能导致和促使其他物质燃烧的任何气体。

2.0.8惰性气体inertgas

在一般情况下不会与其他物质产生化学反应的气体。

2.0.9低蒸汽压力气体lowvaporpressurega