《GBT29844-2013用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范》(2026年)实施指南.pptxVIP

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2025-11-12 发布于云南
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《GBT29844-2013用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范》(2026年)实施指南.pptx

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;目录;;;（二）GB/T29844-2013在芯片产业链中的枢纽作用;（三）从量产失败案例看规范缺失的代价与标准价值;;标准制定的技术溯源：光刻工艺发展与评估需求演进;;（三）标准架构解析：从术语定义到图形应用的全链条覆盖;;线宽与间距指标：光刻精度的核心标尺设定逻辑;（二）图形保真度指标：从二维到三维的评估维度解析;;;DUV多重曝光工艺：规范中的图形拆分与叠加评估要点;（二）EUV极紫外光刻：规范适配高分辨率需求的调整策略;（三）特殊场景适配：掩膜缺陷与套刻误差的规范应用特例;;;;（三）检测环节：设备校准与数据处理的标准合规性操作;;三维堆叠图