电容式传感器课件.ppt

第四章机械量测量;4.2位移（直线位移、角位移）;4.2.1电容式传感器

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;初始状极距为d0时，电容器容量C0为，电容器受外力作用，极距减小Δd，则电容器容量改变为：;;2、变面积式

变面积式电容传感元件结构原理图如下所示。;对于角位移传感器，图（b），设两片极板全重合（θ=0）时的电容量为C0，动片转动角度θ后，电容量变为：;变面积式电容压力传感器;;3.2测量电路;2、差动接法;（二）运算放大器式电路;2、可调零测量电路;;;;应用：

ZCS1100英国超精密电容位移传感器

特点：纳米级分辨率；线性0.08%；灵敏度可调；

应用：压电