DB52T 902-2014 电子级三溴化硼.docxVIP

ICS71.060.50G12

DB52

贵州省地方标准

DB52/T902—2014

电子级三溴化硼

Electronicgradeborontribromide

2014-06-09发布2014-07-09实施

贵州省质量技术监督局发布

I

DB52/T902—2014

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3分子式和相对分子质量 1

4分级 1

5要求 2

6试验方法 2

7检验规则 5

8包装、标志、运输和贮存 6

DB52/T902—2014

II

前言

本标准依照GB/T1.1-2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》给出的规则起草。本标准的某些内容可能涉及专利内容。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本标准由贵州威顿晶磷电子材料有限公司提出。

本标准由贵州省质量技术监督局归口。

本标准起草单位：贵州省产品质量监督检验院、贵州威顿晶磷电子材料有限公司。

本标准主要起草人：钟宏波、蒋飚、黄春银、祝飘、冯永渝、陈文强、陈泉、刘涛、龚宁、黄海英、周大颖、麻晖、伍昌维、邵青松、程化鹏。

DB52/T902—2014

1

电子级三溴化硼

1范围

本标准规定了电子级三溴化硼的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。

本标准适用于用工业三溴化硼原料经精馏、提纯、超净过滤后制得的电子级三溴化硼。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的扩散源等。

本标准不涉及使用安全性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及适用范围的建立。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB50472电子工业纯净厂房设计规范（附条文说明）

GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备

GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备

GB/T6678化工产品采样总则

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法

GB/T8170数值修约规则与极限数字的表示和判定

GB/T11446.1电子级水

3分子式和相对分子质量

分子式：BBr3

相对分子质量：250.5（按2011年国际相对原子质量）。

4分级

电子级三溴化硼分为两种规格：

6N级：纯度（基于金属杂质）≥99.9999%，主要用于太阳能光伏电池扩散源；

7N级：纯度（基于金属杂质）≥99.99999%，主要用于大规模集成电路（IC）、分离器件扩散源；

5要求

2

DB52/T902—2014

5.1外观：无色或稍带黄色的发烟液体。

5.2电子级三溴化硼应符合表1要求。

表1要求

项目

6N级

7N级

纯度（基于金属杂质）≥

99.9999%

99.99999%

铝（Al）/(μg/kg）≤

15

5

砷（As）/(μg/kg）≤

4

1

银（Ag）/(μg/kg）≤

2

1

金（Au）/(μg/kg）≤

2

1

钡（Ba）/(μg/kg）≤

2

1

铋（Bi）/(μg/kg）≤

2

1

钙（Ca）/(μg/kg）≤

10

5

钴（Co）/(μg/kg）≤

2

1

铜（Cu）/(μg/kg）≤

5

2

铬（Cr）/(μg/kg）≤

2

1

铁（Fe）/(μg/kg）≤

20

10

镓（Ga）/(μg/kg）≤

2

1

汞（Hg）/(μg/kg）≤

12

1

钾（K/）(μg/kg）≤

10

3

锂（Li）/(μg/kg）≤

2

1

镁（Mg）/(μg/kg）≤

20

8

锰（Mn）/(μg/kg）≤

2

1

钠（Na）/(μg/kg）≤

10

5

镉（Cd）/(