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;目录;;标准的核心定位:电子工业用硅烷质量管控的权威依据;(二)“黄金准则”的核心支撑:标准的科学性与实用性融合;;;;;;
三、技术要求深度解码:纯度、杂质限值等核心指标如何引领硅烷气体高端化发展?;纯度指标的核心要求:电子级硅烷的纯度门槛与分级标准;(二)杂质限值的科学设定:关键杂质对电子器件的影响与管控边界;(三)物理化学特性指标:保障硅烷应用的稳定性与兼容性;;纯度检测方法:气相色谱法的技术优势与操作规范;;明确样品采集的容器、方式、保存条件,规定检测设备的校准要求与
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