薄膜沉积的共性问题--第二讲.ppt

牡丹江大学光伏学院教育训练计划河北东旭投资集团有限公司2011.03.011

2等离子体在薄膜沉积中的作用基本概念离子、电子共存，整体呈电中性的物质状态形成方式电子加速到一定能量，与气体分子碰撞，使其电离或者激发（未被电离而处于激发状态）。激发阀值或者离化阀值----能使气体分子激发和电离的电子具有的最低能量值。（电子能量≥离化阀值）离化率----引起气体电离的碰撞次数与总碰撞次数的比值。离化率随电子能量的不同而变化。碰撞过程中：（a）发生有效地离化；（b）激发气体分子为激发原子、原子团或者分子等，形成活性基，增加等离子体的活性；（c）被激发原子或者分子经过极短的弛