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HotWorkingTechnology2019,Vol.48,No.l7
SiO2-CaO-MnO熔渣氧化精炼除硼
提纯多晶硅的研究
马璐明，鲁俊，张彦辉，李亚琼，张立峰
(北京科技大学冶金与生态工程学院，北京100083)
摘要：熔渣精炼是制备太阳能级多晶硅过程中最为成熟和广泛应用的除硼手段。为了去除硼杂质，本文选用
SiO2-CaO-MnO熔渣进行熔渣精炼研究，并考察了熔渣的光学碱度与除硼效果的关系。结果表明，经精炼后，渣硅分界
明显，精炼硅易于分离，精炼硅存在Si-Ca.Si-Mn金属间析出相，且析岀相中富集B、P等杂质；随着熔渣中MnO含量
的增加，硅中的B含量先降低后升高，当MnO含量为5%时，硅原料中B含量从23.91x10降低到4.40x10,去
除效率达到81.60%o
关键词：熔渣精炼；除硼；多晶硅；光学碱度
DOI:10.14158/j.cnki・1001-3814.2019.17.008
中图分类号:TG250.2文献标识码：A文章编号:1001-3814(2019)17-0030-04
StudyonPurificationofPolysiliconbySiO2-CaO-MnOMoltenSlag
OxidationRefiningandBoronRemoval
MALuming,LUJun,ZHANGYanhui,LIYaqiong,ZHANGLifeng
(SchoolofMetallurgicalandEcologicalEngineering,UniversityofScienceandTechnologyBeijing,Beijing100083,China)
Abstract:Slagrefiningisthemostmatureandwidelyusedboronremovalmethodforthepreparationofsolargrade
polysilicon.Inordertoremoveboronimpurities,SiO2-CaO-MnOslagwasselectedforrefiningresearch.Andtherelationship
betweentheopticalbasicityofslagandboronremovaleffectwasexamined.Theresultsshowthattheboundarybetweenslagand
siliconisobviousaftertherefining,andtherefinedsiliconiseasytoseparate.ThereareSi-CaandSi-Mnintermetalli
precipitatedphasesintherefinedsilicon,andtheimpuritiessuchasBandPareenrichedintheprecipitatedphase.Withthe
increaseofMnOcontentinslag,Bcontentinsilicondecreasesfirstlyandthenincreases.WhentheMnOcontentis5%,theboron
contentinthesiliconrawmaterialisreducedfrom23.91xlOAvtto4.40x10-6^andtheremovalefficiencyreaches81.60%.
Keywords:slagrefining;boron
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