金属微光栅与微柱阵列结构制作工艺的深度剖析与创新实践.docx

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2025-11-18 发布于上海
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金属微光栅与微柱阵列结构制作工艺的深度剖析与创新实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学与技术的快速发展进程中，微纳结构的制造与应用已成为众多领域的关键技术之一。金属微光栅和金属微柱阵列结构作为两种典型的微纳结构，因其独特的物理性质和广泛的应用前景，受到了学术界和工业界的高度关注。

金属微光栅是一种具有周期性结构的微纳光学元件，通过对光的衍射、干涉等作用，能够实现对光的振幅、相位、偏振态等特性的精确调控。这种精确调控能力使得金属微光栅在众多领域中发挥着不可或缺的作用。在光通信领域，它被广泛应用于波分复用、光开关等关键器件中，极大地提高了光信号的传输效率和通信容量；在传感器领域，金属微