平面扫描式X射线尺寸测量机校准规范.pdfVIP

平面扫描式X射线尺寸测量机校准规范.pdf

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中华人民共和国国家计量技术规范

JJFXXXX-XXXX

平面扫描式X射线尺寸测量机校准规范

CalibrationSpecificationforPlanarScanningX-RayDimensional

MeasuringMachine

(征求意见稿)

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

国家市场监督管理总局发布

JJFXXXX-XXXX

平面扫描式X射线尺JJFXXXX-XXXX

寸测量机校准规范

CalibrationSpecificationfor

PlanarScanningX-Ray

DimensionalMeasuringMachine

归口单位:全国几何量长度计量技术委员会

主要起草单位:深圳市计量质量检测研究院

中国计量科学研究院

参加起草单位:广州计量检测技术研究院

深圳中国计量科学研究院技术创新研究院

本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释

JJFXXXX-XXXX

本规范主要起草人:

参加起草人:

JJFXXXX-XXXX

目录

引言II

1范围1

2引用文件1

3术语和计量单位1

4概述2

5计量特性3

6校准条件3

6.1环境条件3

6.2校准通用要求4

7校准项目和校准方法5

7.1探测形状误差5

7.2线宽测量示值误差6

7.3圆直径测量示值误差7

7.4圆柱直径测量示值误差7

7.5球直径测量示值误差8

7.6球心距测量示值误差8

7.7多视野测量尺寸示值误差8

7.8结构分辨力9

8校准结果表达9

9复校时间间隔9

附录A原始记录格式10

附录B校准证书内页格式16

附录C圆柱直径测量不确定度评定示例20

I

JJFXXXX-XXXX

引言

本规范依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量

术语及定义》和JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编写。

本规范为首次发布。

II

JJFXXXX-XXXX

平面扫描式X射线尺寸测量机校准规范

1范围

本校准规范适用于具有二维或三维几何尺寸测量功能的平面扫描方式的X

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