激光干涉仪扩束系统设计.docxVIP

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2025-11-19 发布于天津
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激光干涉仪扩束系统设计.docx

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摘要

本研究针对斐索干涉仪的大口径平面波前检测需求，设计了一种基于伽利略式结构的激光扩束系统，以实现100mm至300mm口径的扩束，并优化波前质量。通过理论分析高斯光束传播特性与扩束原理，结合几何光学与Zemax仿真优化，构建了三透镜折射式扩束系统初始结构，引入光路折叠设计缩短系统总长至570mm，同时保持波前峰谷值（PV）≤0.0499λ、均方根值（RMS）≤0.0092λ。利用泽尼克多项式分析表明，系统主要像差（离焦、像散、彗差及球差）均可满足工业化干涉仪的要求，验证了设计的有效性。通过蒙特卡罗公差分析，量化了加工误差（曲率半径±0.1%）、装配误差（偏心0.0