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公司化学气相淀积工职业健康操作规程

文件名称：公司化学气相淀积工职业健康操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司化学气相淀积（CVD）工艺操作人员。规程涉及CVD设备操作、化学药品处理、废气排放及安全防护等环节。操作人员应熟悉本规程，并严格遵守，确保人身安全和设备正常运行。规程内容包含基本安全操作原则、设备操作流程、化学品管理、紧急情况处理等。

二、操作前的准备

1.防护用具的正确使用方法：

a.操作人员进入CVD车间前，必须穿戴适当的防护服、防护手套、防护眼镜和防尘口罩。

b.防护服应选择耐化学品、耐高温、防静电的材料，确保穿着舒适且无破损。

c.防护手套应选择适合接触化学品的材质，如丁腈手套或PVC手套，确保手套与手部贴合，避免化学品泄漏。

d.防护眼镜应具有防溅功能，佩戴时确保眼镜与面部贴合，无空隙。

e.防尘口罩应定期更换，保持清洁，确保呼吸顺畅。

2.设备启机前的检查项目：

a.检查设备外观是否有损坏，如裂缝、变形等。

b.检查设备电气线路是否完好，无裸露电线或破损。

c.检查设备各接口连接是否牢固，无松动现象。

d.检查设备冷却系统是否正常，冷却液位是否充足。

e.检查设备气路系统是否畅通，无泄漏现象。

f.检查设备控制系统是否正常，操作界面显示是否清晰。

3.作业区域的准备要求：

a.清理作业区域，确保无杂物、灰尘等，防止设备故障和人员滑倒。

b.检查通风系统是否正常，确保作业区域空气流通。

c.检查紧急疏散通道是否畅通，确保人员疏散安全。

d.检查消防设施是否完好，如灭火器、消防栓等。

e.检查应急药品和防护用品是否充足，如急救箱、防毒面具等。

f.检查CVD设备附近是否有易燃易爆物品，确保操作安全。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行的步骤流程：

a.根据生产计划和工艺要求，准备好所需的化学药品、气体和设备。

b.检查设备是否处于待机状态，确保所有安全装置正常。

c.启动设备，逐步开启气路、液路和电源，确认设备各部分运行正常。

d.调整设备参数至设定值，如温度、压力、流量等。

e.将化学药品和气体依次导入设备，启动CVD反应过程。

f.监控设备运行状态，记录关键参数和反应数据。

g.反应完成后，关闭气路、液路和电源，等待设备冷却。

h.清理设备，进行日常维护保养。

2.特殊工序的操作规范：

a.对于对温度、压力、气体流量等参数要求严格的特殊工序，操作人员需经过专业培训。

b.特殊工序前，详细核对工艺参数，确保准确无误。

c.在特殊工序操作过程中，密切监控参数变化，及时发现并处理异常情况。

d.特殊工序完成后，立即进行后续工序，避免长时间停机。

3.异常工况的处理方法：

a.发现设备异常时，立即停止设备运行，断开电源和气路。

b.根据异常情况，迅速查找原因，排除故障。

c.若为化学品泄漏，立即佩戴防护用具，使用吸尘器或专用设备进行清理，并通知相关人员处理。

d.若为设备故障，按照维修流程进行维修，确保设备安全。

e.若为紧急情况，立即启动应急预案，确保人员安全撤离。

f.故障排除后，进行试运行，确认设备恢复正常运行状态。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

a.温度：CVD设备运行时，反应腔温度应保持在工艺要求的范围内，通常在200°C至800°C之间。

b.压力：设备压力应稳定在设定值，通常为1-10Torr，具体取决于工艺要求。

c.流量：气体流量应精确控制，确保各反应气体按比例混合，流量波动不应超过±5%。

d.电流：设备运行时，电流应稳定在正常工作范围内，电流异常可能表明设备或工艺存在问题。

e.电压：设备电压应稳定，波动范围在正常工作电压±5%以内。

f.真空度：设备真空度应达到工艺要求，通常在10-10^-3Torr之间。

2.典型故障现象：

a.设备温度异常：可能由于加热元件故障、温度控制器失灵或工艺参数设置不当引起。

b.设备压力波动：可能由于气路泄漏、流量控制阀门故障或气体供应不稳定引起。

c.设备电流异常：可能由于电源问题、设备内部短路或负载不平衡引起。

d.设备真空度不足：可能由于真空泵故障、阀门泄漏或真空系统堵塞引起。

e.设备运行噪音增大：可能由于设备磨损、轴承损坏或传动系统故障引起。

3.状态监测的操作要求：

a.操作人员应定期检查设备运行参数，确保其处于正常范围。

b.使用温度计、压力计、流量计等仪表进行实时监测，记录数据。

c.对设备进行定期维护，检查和维