《GBT 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法》专题研究报告.pptx

;目录;

一、专家视角深度剖析：腐蚀法为何成为硅外延层晶体完整性检验的核心标准？未来应用场景将如何拓展？;硅外延层晶体完整性检验的行业刚需与技术选择逻辑;;（三）2025-2030年腐蚀法在新兴领域的应用拓展预测;;标准制定的背景、目的与核心定位;;;;晶体缺陷的类型与腐蚀法检测的原理基础;（二）腐蚀液的配方组成与作用机制解析;（三）关键工艺参数的控制要求与影响规律;;腐蚀装置的技术要求与选型标准;（二）检测仪器的类型与技术参数要求;（三）材料性能对检验结果的影响与控制措施;;样品取样的规范要求与代表性原则;（二）样品预处理的步骤与操作规范;;;标准规定的腐蚀操作流