面向高精度应用：大量程、高线性度MEMS电容加速计闭环读出电路的深度剖析与创新设计.docxVIP

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2025-11-23 发布于上海
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面向高精度应用：大量程、高线性度MEMS电容加速计闭环读出电路的深度剖析与创新设计.docx

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面向高精度应用：大量程、高线性度MEMS电容加速计闭环读出电路的深度剖析与创新设计

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微机电系统（MEMS）技术凭借其独特的优势，在众多领域中得到了广泛的应用和深入的发展。MEMS电容加速计作为MEMS技术的重要应用之一，以其体积小、重量轻、成本低、功耗小且易于集成等显著特点，成为了加速度测量领域的关键器件。在航空航天领域，它为飞行器的导航、姿态控制以及飞行状态监测提供了不可或缺的数据支持，确保飞行器能够在复杂的空间环境中稳定、准确地运行；在汽车工业中，MEMS电容加速计在汽车安全气囊的触发控制、车辆动态稳定性控制系统以及自动驾