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金属薄膜电学性能：尺度与温度效应的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技的飞速发展中，金属薄膜作为一种关键的材料，在电子学、光学、传感器等众多领域展现出了不可或缺的重要性。从日常生活中的电子产品，到高端的航空航天技术，金属薄膜的身影无处不在，其独特的物理性质和广泛的应用前景吸引了众多科研人员的目光。

在电子学领域，金属薄膜是构建各种电子器件的基础材料。以集成电路为例，金属薄膜被用作导线和电极，承担着传输电流和信号的关键任务。随着集成电路的不断发展，其尺寸越来越小，集成度越来越高，这对金属薄膜的电学性能提出了极高的要求。在超大规模集成电路中，金属薄膜的电阻率、电导率等电学参数直接