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十五五规划纲要:半导体耗材国产化政策;目录;01;国际形势与挑战;国内半导体产业现状;国产化战略意义;02;规划目标与原则;主要任务与布局;保障措施与政策支持;03;政策目标与方向;支持措施与手段;评估与调整机制;04;光刻胶;光刻掩模;化学气体;纳米抛光液;05;产业链上下游协同;产学研合作模式;人才培养与引进;06;政策实施路径;监督考核机制;风险防范与应对;07;国产化前景展望;面临的挑战与机遇;政策优化建议;THANKS
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