多层结构微梁微板谐振器热弹性阻尼的深度剖析与模型构建.docx

多层结构微梁微板谐振器热弹性阻尼的深度剖析与模型构建

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代微机电系统（MEMS）领域，微机械谐振器作为核心部件，展现出了极为广泛的应用前景。从高精度的加速度传感器，到高灵敏度的陀螺仪，从高性能的滤波器，到新兴的能量收集器，微机械谐振器的身影无处不在。以智能手机为例，其中的加速度传感器能够感知手机的运动状态，实现屏幕自动旋转、计步等功能，而陀螺仪则在虚拟现实（VR）和增强现实（AR）应用中发挥着关键作用，为用户提供精准的方向感知和沉浸式体验。在无线通信领域，滤波器中的微机械谐振器能够精确筛选出特定频率的信号，保障通信的稳定与高效。

品质因子作为衡量微机械谐振