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电子级惰性稀有气体标准立项的目的意义、范围及主要技术内容分析报告.pdf

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    电子级惰性稀有气体标准立项的目的意义、范围及主要技术

    内容分析报告

    EnglishTitle

    AnalysisReportonthePurpose,Significance,Scope,andMainTechnical

    ContentoftheStandardizationProjectforElectronicGradeInertRareGases

    摘要

    随着全球集成电路产业的快速发展，电子级惰性稀有气体作为关键高纯材料，在半

    导体制造、光刻工艺等高端技术领域具有不

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