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半导体激光加工设备
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智研产业百科·产业研究第一站/半导体激光加工设备/
半导体激光加工设备
一、定义及分类1
二、行业政策2
三、发展历程4
四、行业壁垒6
1、技术壁垒6
2、人才壁垒6
3、资金壁垒6
五、产业链7
1、行业产业链分析7
2、行业领先企业分析8
(1)大族激光科技产业集团股份有限公司8
(2)苏州德龙激光股份有限公司9
六、行业现状10
七、发展因素11
1、机遇11
(1)国产替代加速11
(2)下游应用领域拓展11
(3)技术突破与创新11
2、挑战12
(1)高端设备依赖进口12
(2)零部件配套能力不足12
(3)市场竞争激烈12
八、竞争格局13
九、发展趋势14
1、技术融合与创新加速14
2、应用领域持续拓展与深化14
3、绿色环保与可持续发展成为重要方向14
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智研产业百科·产业研究第一站/半导体激光加工设备/
一、定义及分类
半导体激光加工设备是指在半导体生产环节中通过激光技术对硅片、晶圆及芯片进行加工的工具。
其核心是利用半导体激光器产生的高能量激光束,对半导体材料进行精确加工,以实现各种工艺要求。
半导体激光加工设备按照不同工艺环节的用途,主要可以分为激光划片设备、激光打标设备、激光解
键合设备、激光Trimming设备。
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二、行业政策
近年来,中国政府高度重视半导体产业的发展,出台了一系列政策支持半导体激光加工设备行业
的发展,这些政策为行业的快速成长提供了有力保障。2024年8月,市场监管总局印发《关于深入
实施检验检测促进产业优化升级行动的通知》,提出聚焦新一代信息技术、新能源、新材料、高端装
备、集成电路、人工智能等战略性新兴产业,同时兼顾传统产业改造升级,探索建立检验检测“揭榜挂
帅”创新机制,鼓励检验检测机构与高校、科研院所、产业链上下游企业共同组建创新联合体,开展检
验检测关键共性技术和仪器设备协同攻关,破解“卡脖子”难题,推动科技创新和产业创新深度融合,
加快创新成果转化落地。通过与高校和科研院所的合作,半导体激光加工设备企业可以获取更多的前
沿技术和研发支持,提升产品的技术含量和附加值。同时,与产业链上下游企业的合作则有助于形成
完整的产业链生态,实现协同效应,提升整个产业链的竞争力。
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三、发展历程
中国半导体激光加工设备行业发展主要经历了四个阶段。1917年至1970年的萌芽期,激光起
源于1917年爱因斯坦提出受激辐射理论,是激光发展的理论基础;1954年,基于受激辐射理论,美
国科学家汤斯发明微波激射器;1960年,美国科学家梅曼首次制成光波激射器,标志着激光时代的
到来;1961年,中国长春光机所研制成功中国第一台红宝石激光器,标志着中国激光时代的到来;
1962年同质结GaAs半导体激光器问世;1963年,长春光机所和半导体研究所成功研制出GaAs半
导体激光器;1969年双异质半导体激光器问世;1970年,上海光机所和半导体研究所成功研制出单
异质结构半导体激光器。
1971年
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