GB/T 14847-2025重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试　红外反射法.pdf

ICS77.040

CCSH21

中华人民共和国国家标准

/—

GBT148472025

代替/—

GBT148472010

重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试

红外反射法

Testmethodforthicknessoflihtldoedsiliconeitaxiallaersonheavildoed

gyppyyp

—

siliconsubstratesInfraredreflectancemethod

2025-10-31发布2026-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT148472025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》,

本文件代替GBT148472010重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法与

/—,,:

GBT148472010相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

)(,);

更改了适用范围见第章年版的第章

a120101

)(,);

更改了方法原理见第章年版的第章

b420104

)(,);

更改了干扰因素见第章年版的第章

c520105

)();

增加了试验条件见第章

d6

)(,);

更改了仪器设备见第章