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福建省质量检验协会团体标准
《锗烷、乙硼烷和磷烷生产尾气排放技术规范》标准编制说明
1标准工作简况
1.1编制背景
锗烷、乙硼烷和磷烷是电子工业领域不可或缺的特种气体，广泛应用于半导
体制造、光伏电池生产和平板显示器等高端制造工艺中。这些氢化物气体具有剧
毒性、自燃性和易爆性，对人体健康和环境安全构成严重威胁。随着我国电子工
业的迅猛发展，这些特种气体的使用量逐年增加，其生产过程中的尾气排放管理
变得尤为重要。
当前，我国关于电子工业废气处理已有《电子工业废气处理工程设计标准》
（GB514
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