2025年半导体设备真空系统技术发展动态.docx

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一、半导体设备真空系统技术发展背景与意义

1.1行业背景

半导体产业作为现代信息社会的核心支柱，其发展水平直接决定了一个国家在全球科技竞争中的地位。近年来，全球半导体市场规模呈现持续扩张态势，根据SEMI发布的《2024年全球半导体设备市场预测》显示，2024年全球半导体设备市场规模将同比增长13%，达到1050亿美元的历史新高，其中真空系统作为半导体制造过程中不可或缺的关键部件，在光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入等核心工艺环节中扮演着“环境基石”的角色。随着5G通信、人工智能、物联网、元宇宙等新兴技术的快速渗透，芯片制程不断向3nm及以下