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氢浓度对高纯4H-SiC单晶生长特性影响研究.pdf

氢浓度对高纯4H-SiC单晶生长特性影响研究.pdf

    材料科学Submitted:2015‑09‑16

    ISSN:1662‑9752,第858卷，第69‑72页Revised:2015‑12‑02

    doi:10.4028/Accepted:2016‑01‑03

    ©2016TransTechPublications,Switzerland

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