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巨应力阻抗效应赋能加速度计：技术剖析与创新探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今这个高度信息化的时代，信息的获取与处理已然成为现代信息技术领域的核心内容，其对社会发展以及科技进步都起着极为关键的作用。传感器作为信息获取与处理系统的最前端部件，直接面向被测量对象，已成为一项备受瞩目的高新技术，也是当代科学技术迅猛发展的重要标志之一。现代传感技术与信息技术、计算机技术并称为支撑整个现代信息产业的三大支柱。形象地说，如果把计算机比作人类大脑的扩展，那么传感器就如同人类五官的延伸，能够帮助人类感知周围环境中的各种物理量、化学量和生物量等信息，并将其转换为便于传输和处理的电信号，因此，各发达国家都将传感器技术列为本世纪重点发展的技术之一。

随着工业自动化、信息化和国防现代化进程的不断推进，传感器的应用领域日益广泛，已深入渗透到各个专业领域。我国也愈发重视传感技术的发展，积极投入研究和开发，以提升我国在传感器领域的技术水平和产业竞争力。加速度计作为一种能够测量运载体线加速度的仪表，在诸多领域都有着不可或缺的应用。1941年，二战末期法西斯德国向英国伦敦发射的V-2火箭弹，让人们首次认识到了加速度计的重要性。此后，随着航空、航海和航天等领域对惯性测量器件需求的不断增长，各种新型加速度计相继问世，其性能也得到了大幅提升，在民用和军用领域都得到了广泛应用。高性能加速度传感器在生物医疗、交通运输、国防科技和安全监测等领域展现出了广阔的应用前景。例如，在生物医疗领域，可用于监测人体的运动状态和生理参数，辅助疾病诊断和康复治疗；在交通运输领域，可用于汽车的安全控制系统、自动驾驶系统以及航空航天飞行器的导航和姿态控制等；在国防科技领域，是惯性导航系统的关键部件，对于武器装备的精确制导和作战效能的提升起着重要作用；在安全监测领域，可用于建筑物、桥梁等基础设施的健康监测，以及地震、火灾等灾害的预警和监测。

对于传感器技术的发展而言，敏感元件是一个至关重要的因素。因为在各类传感器中，敏感元件直接感受和响应被测量，其基本性能很大程度上取决于相应敏感材料的性能。随着科学技术的不断进步，在新型功能材料研究方面取得了众多成果，如非晶态软磁合金等材料。这些新型材料的出现，为传感器性能的提升提供了有力支持，使其在国民经济和国防建设等领域的应用更加广泛。然而，新的形势也对传感器提出了更高的要求，如尺寸小、灵敏度高、线性好、重复性好、功耗低等。非晶态软磁合金材料在特定条件下所表现出的巨应力阻抗效应及其在加速度计方面的应用，恰好满足了这些要求，顺应了传感器技术的发展潮流。

1997年，日本名古屋大学的K.Mohri等人在经过冷拔和张应力退火的钴基非晶丝材料中首次发现了巨应力阻抗（GSI，GiantStress-Impendence）效应。该效应是指当在非晶丝两端通以一定频率的交流电时，非晶丝的阻抗会随着外加应力的变化而发生非常灵敏的改变。这一效应的发现，引起了世界各国科学家的广泛关注。目前，针对GSI效应的传感器研究主要集中在应力、加速度、振动测量等方面。基于巨应力阻抗效应的加速度计，以其独特的优势，如高灵敏度、小尺寸、低功耗以及对环境影响小等，展现出了广阔的应用前景。对基于巨应力阻抗效应的加速度计若干技术进行研究，不仅有助于深入理解巨应力阻抗效应的物理机制，推动新型传感器材料和技术的发展，还能够为相关领域提供高性能、低成本的加速度测量解决方案，具有重要的理论意义和实际应用价值。

1.2国内外研究现状

自1997年巨应力阻抗效应被发现以来，国内外众多科研团队和学者围绕这一效应展开了广泛而深入的研究。在国外，日本、美国、法国、俄罗斯等国家的科研人员在巨应力阻抗效应的基础理论研究和应用开发方面取得了一系列重要成果。日本作为最早发现巨应力阻抗效应的国家，在该领域一直处于领先地位。名古屋大学的研究团队对钴基非晶丝的巨应力阻抗效应进行了系统研究，深入分析了非晶丝的制备工艺、组织结构与巨应力阻抗效应之间的关系。他们发现，通过优化冷拔和张应力退火工艺，可以显著提高非晶丝的巨应力阻抗效应灵敏度。此外，还研究了不同频率交流电下非晶丝的阻抗变化规律，为基于巨应力阻抗效应的传感器设计提供了理论依据。美国的科研人员则侧重于将巨应力阻抗效应应用于微机电系统（MEMS）加速度计的研发。他们利用MEMS加工技术，将巨应力阻抗敏感元件与微机械结构集成在一起，实现了加速度计的微型化和集成化。例如，斯坦福大学的研究团队开发出了一种基于巨应力阻抗效应的MEMS加速度计，该加速度计具有高灵敏度、低噪声和低功耗等优点，在生物医疗和航空航天等领域具有潜在的应用价值。法国和俄罗斯的科研人员在巨应力阻抗效应的材料研究方面也取得了重要进展。他们通过添加不同