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《半导体用智能真空泵颗粒物控制技术要求》标准征求意见稿.pdf

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    T/CMEEEAXXXX—2025

    半导体用智能真空泵颗粒物控制技术要求

    1范围

    本文件适用于半导体用智能真空泵颗粒物控制的技术要求、试验方法、包装、运输。

    本文件适用于半导体芯片制造工艺中，对真空环境颗粒物浓度有严格要求的智能真空泵（包括干式

    螺杆泵、罗茨泵、分子泵等），不适用于含腐蚀性气体或放射性物质的特殊工艺场景。

    2规范性引用文件

    下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条

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