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- 2025-12-10 发布于天津
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2025年大学微电子科学与工程(集成电路制造技术)下学期期末测试卷
(考试时间:90分钟满分100分)班级______姓名______
一、单项选择题(总共10题,每题3分,每题只有一个正确答案,请将正确答案填在括号内)
1.集成电路制造中,光刻技术的关键作用是()
A.定义器件的几何形状B.掺杂杂质C.形成金属互连D.去除多余的半导体材料
2.以下哪种材料常用于CMOS集成电路的栅极材料()
A.铝B.铜C.多晶硅D.氮化硅
3.在集成电路制造过程中,离子注入的目的是()
A.改变半导体的导电类型B.
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