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《全自动明场光学晶圆缺陷检测设备》
（征求意见稿）
编制说明
一、工作简况
（一）任务来源
本文件由北京中研博采技术服务有限公司提出，经中国技术
市场协会标准化工作委员会批准，正式列入2025年团体标准制
修订计划，标准名称为《全自动明场光学晶圆缺陷检测设备》。
（二）项目背景
随着半导体产业向高集成度、微纳化方向快速发展，晶圆作
为集成电路制造的核心基材，其表面缺陷直接影响芯片良率
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