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微机械气流式水平姿态传感器：原理、技术与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的背景下，传感器作为获取信息的关键部件，在各个领域的重要性日益凸显。从航空航天中飞行器的精确导航与姿态控制，到汽车工业里自动驾驶系统的环境感知，再到智能家居中对室内环境的智能调节，传感器的身影无处不在。随着各领域对设备智能化、小型化、高精度化的追求不断提升，对传感器性能的要求也愈发严苛。

微机械气流式水平姿态传感器应运而生，并凭借自身独特的优势逐渐受到广泛关注。该传感器利用气体摆理论，其敏感质量为气体，质量近乎零，这赋予了它一系列传统传感器难以企及的特性。例如，它能够承受高过载，在一些极