《光伏材料检测技术》课件——多晶硅中基硼、基磷含量检测.pptxVIP

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2025-12-19 发布于福建
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《光伏材料检测技术》课件——多晶硅中基硼、基磷含量检测.pptx

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多晶硅中基硼、基磷含量检测主讲教师：

国家标准

目录CONTENTS01.悬浮区熔02.分凝系数分析03.检测方法04.区熔提纯和测试的具体要求05.型号及电阻率测量06.撰写检测报告书

悬浮区熔PART01

一、悬浮区熔基本原理悬浮区熔基本原理利用硅熔体中杂质的分凝（当固液或固气两相平衡共存时，两相的组成不同。这种现象称为分凝）效应和蒸发效应，在真空条件下，在硅棒上建立一个溶区，溶区温度1410℃，并使之从一端移至另一端，以达到提纯和控制杂质的目的。由于硅棒垂直放置，并且不用容器，区熔时建立的熔区在硅棒之间移动，所以称为悬浮区熔。

一、悬浮区熔水平区熔法基本原理区熔法利用热能在半导体棒料的