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三氯氢硅中痕量杂质的化学光谱检测主讲教师:
目录CONTENTS01.查询国家检测标准02.检测原理及方案03.检测组织实施04.检测结果分析
查询国家检测标准PART01
一、查询国家检测标准
检测原理及方案PART02
二、检测原理及方案(一)方法原理SiHCl3中痕量金属杂质如何除去?蒸发法用微量的高纯水与SiHCl3作用产生少量SiO2水解物,SiO2对痕量杂质元素有吸附作用,基体在常温下用纯净氮气作载气进行慢挥发,残留的SiO2用氢氟酸蒸气溶解除去,残渣用盐酸溶解,用溶液干渣法光谱测定。本方法适用于测定杂质含量在10-6~10-8%的样品。
二、检测原理及方案(二)主要试剂和仪
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