半导体工艺仿真：化学气相沉积仿真_（3）.CVD过程中的质量、能量和动量传输.docx

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CVD过程中的质量、能量和动量传输

在化学气相沉积（CVD）过程中，质量、能量和动量的传输是至关重要的。这些传输过程直接影响着沉积薄膜的质量、均匀性和生长速率。本节将详细探讨CVD过程中质量、能量和动量传输的基本原理和仿真方法。

1.质量传输

质量传输是指反应物气体从气相输送到基片表面的过程。这个过程涉及气体分子在反应室内的扩散和对流。质量传输的主要机制包括：

扩散：气体分子在浓度梯度的作用下从高浓度区域向低浓度区域移动。

对流：气体分子在外部流场的作用下从一个区域输送到另一个区域。

1.1扩散方程

扩散过程可以用菲克定律（Fick’sLaw）来描