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半导体工艺线设备配置及选型技术0.5μm光刻机离子注入设备.pdf

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    基于半导体的工艺线设备配置及选型技术

    胡伟，蔡颖岚，邓学文，赖忠良，唐代飞

    （重庆声光电有限公司，重庆400060）

    摘要：半导体工艺根据产品采用不同的工艺路线，分析小规模特殊器件的工艺路线。根据产品器件需求配置相应的设备，满足生产

    适用性、技术先进性和经济合理性原

    关键词：半导体工艺；设备配置；设备选型；光刻机

    中图分类号：TN30文献标识码：BDOI：10.16621/j.cnki.issn1001-0599

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