半导体工艺线设备配置及选型技术0.5μm光刻机离子注入设备.pdf

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基于半导体的工艺线设备配置及选型技术

胡伟,蔡颖岚,邓学文,赖忠良,唐代飞

(重庆声光电有限公司,重庆400060)

摘要:半导体工艺根据产品采用不同的工艺路线,分析小规模特殊器件的工艺路线。根据产品器件需求配置相应的设备,满足生产

适用性、技术先进性和经济合理性原

关键词:半导体工艺;设备配置;设备选型;光刻机

中图分类号:TN30文献标识码:BDOI:10.16621/j.cnki.issn1001-0599

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