原创力文档MKS产品采购指南
180A
数字型金属密封质量流量控制器
全数字型MKSALTATM)质量流量控制器(MFC)对功能和性能上
进行了技术改进，能够帮助半导体和高纯薄膜应用的用户来提
高工艺设备的产额和减小总体的系统成本。为了提高整个工艺
系统的产额。为了更好地与反应室匹配，ALTA改进了精度使
其达到了读数的1%。
技术上的改进和提高为用户节省了成本开支。为了减少MFC的使用数量，用户可以从20个的气体
数据表中检索到特定的MFC气体和流量范围，可即刻形成ALTAMFC的配置。ALTAMFC系列体现
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