原创力文档PM-605微蚀稳定剂
PM-605微蚀稳定剂用于化学沉铜和电镀铜之前，清洁铜表面并对其进行微粗糙腐蚀，使其对镀层有较大的附着力。它比过硫酸铵等微蚀剂具有以下特点：蚀刻速度恒定、铜可以再生、溶铜量高、不需酸洗等。
一、工艺条件
沉铜工序
参数
范围
建议值
PM-605
10-50ml/L
25ml/L
H2SO4（CP）
90-110ml/L
100ml/L
H2O2（CP）
70-90ml/L
80ml/L
温度
25-26℃
30℃
时间
1-2min
1min
搅拌
机械式
图电工序
参数
范围
建议值
PM-605
10-60ml/L
30ml/L
H2SO4（CP）
9
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