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原子层沉积(ALD)
Picosun产品手册
PicosunALD–赢取未来
ALD是未来工业发展趋势的可选方案Picosun提供经生产线验证的ALD解决方案
原子层沉积(ALD)是目前最先进的镀膜和表面处理技术。ALD可今天,世界上许多最大的微电子和集成电路(IC)制造企业都选
以制备多种材料的超薄薄膜,比如氧化物、氮化物、硫化物、择Picosun的ALD来生产他们最先进的产品。
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