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电子材料仿真：磁性材料仿真_10.磁性薄膜的制备与表征.docx

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    10.磁性薄膜的制备与表征

    10.1磁性薄膜的制备方法

    磁性薄膜的制备是磁性材料研究中的重要环节，不同的制备方法可以显著影响薄膜的磁性能和微观结构。常见的制备方法包括物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、液相沉积（LPD）等。本节将详细介绍这些方法的原理和应用场景。

    10.1.1物理气相沉积（PVD）

    物理气相沉积（PhysicalVaporDeposition,PVD）是一种通过物理过程将材料从气态沉积到基底表面形成薄膜的技术。PVD方法包括溅射沉积、蒸发沉积等，适用于制备多种磁性材料薄膜。

    溅射沉积

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