激光光束质量M2因子测量系统的设计.pdfVIP

激光光束质量∥因子测量系统的设计王彩霞

激光光束质量砰因子测量系统的设计

oftheMeasurementforLaserBeamMFactor

DesignSystemQuality

互彩霞

(长春理工大学电子信息工程学院，吉林长春130022)

摘要：为了实现对激光器发射激光光束质蕈的自动化测量，提出了一种激光光束质量∥因子测量系统。该系统选择混合式步进

电机作为执行机构来确定多个采样位置；同时系统采用面阵电荷耦合器件(CCD)多点探测激光光斑的图像信息，实时计算不同采样

位置激光光斑的质心和光强，并根据^，2因子理论计算出激光光束的柬腰宽度和柬散角等参数，最后由上位机显示激光光斑的二维／

100

三维光强分布及处理结果。实验结果表明，系统能够对400一1nm连续激光器发射激光光束质量进行自动化测量，测量精度达

±6％，测量时间小于3m．in。

关键词：曲线拟合多点采样质心测量精度图像采集

中图分类号：TH74文献标志码：A

ordertorealizeautomaticmeasurementofbeamemittedoflaserbeamfactorMsis

Abstract：Inlager。themeasuring

qualitybysystemquality

thismotorisselected鹪actuatorforinfor-

positions．Inaddition-theimage

pmposed．Insystem。hybridsteppingdeterminingmultiplesampling

mationoftheatthecentroidandofdif-

laserisdetected

spotsmultiplepositionsbyusingarraychargecoupledevice(CCD)，andlightintensity

ferentareealclJlatedinrealthewaistwidthandcalcdated

time，thenangle-etc．，are

samplingpositionsparameters，such拍beamdivergence

of

inaccordancewithM2the2D／3Ddistributionandresultareonthehosteom—

theoreticallyfactor。finallylightintensitydisplayed

processing

Call400—1100nnl

resulto