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基于PZT的微纳混合扫描系统的研究
一、引言
在当今科技飞速发展的时代,微纳尺度下的精确测量与操作技术变得愈发重要,它们是众多前沿科学领域和先进技术产业得以进步的基石。从生物医学中对单个细胞的精细操控与成像,到材料科学里对纳米结构材料的微观特性探究,再到半导体制造工艺中对纳米级精度的严苛要求,都迫切需要能够在微纳尺度实现高精度定位与扫描的技术及设备。在这样的背景下,基于压电陶瓷(PZT)的微纳混合扫描系统应运而生,成为了科研人员和工程师们实现微纳尺度精密操作的有力工具。
压电陶瓷材料,尤其是PZT,因其具备独特的压电效应,在微纳扫描系统中占据了关键地位。当对PZT施加外部电场时,它能
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