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2025年半导体设备真空系统超高真空设计报告.docx

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    2025年半导体设备真空系统超高真空设计报告模板

    一、2025年半导体设备真空系统超高真空设计报告

    1.1超高真空技术概述

    1.2超高真空系统设计原则

    1.2.1真空度要求

    1.2.2真空密封性能

    1.2.3真空泵选型

    1.2.4系统布局与结构设计

    1.3超高真空系统关键部件选型

    1.3.1真空泵

    1.3.2真空阀门

    1.3.3真空管道

    二、真空系统关键部件的技术要求与选型

    2.1真空泵的技术要求与选型

    2.2真空阀门的技术要求与选型

    2.3真空管道的技术要求与选型

    三、超高真空系统的关键性能测试与优化

    3.1真空度测试与优化

    3.2真空泄漏检测与优化

    3.3系

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