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一破局“纳米尺度测不准”困局:专家视角解读GB/T43748-2024如何为芯片功能薄膜厚度测定树立新标杆
二从原理到实践:深度剖析透射电子显微术在芯片薄膜厚度测定中的核心工作机制与物理基础
三揭秘标准核心流程:逐步拆解集成电路芯片样品制备图像获取与厚度测量的黄金法则
四决胜于毫微之间:专家深度解读标准中关键技术参数设定对测量准确性与重复性的决定性影响
五跨越实验室与产线的鸿沟:前瞻性分析本标准对集成电路研发制造与失效分析的实际指导价值
六应对未来芯片挑战:深度探讨标准在GAA三维集成等先进工艺节点薄膜厚度测量中的适应性演进
七误差来源全景扫描与不确定度深度评定:构建薄膜
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