原创力文档2026年中国平面光波导分路器市场调查研究报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u16139摘要 3
3504一、平面光波导分路器技术原理与核心架构 5
325311.1平面光波导分路器的工作机理与光学特性 5
58641.2多模干涉（MMI）与Y分支结构的技术对比分析 7
162841.3材料体系选择对器件性能的影响机制 9
6234二、主流制造工艺与实现路径深度解析 12
274572.1硅基与玻璃基PLC分路器的制备工艺路线比较 12
66752.2光刻、刻蚀与退火等关键工艺参数优化策略 14
67142.3封装集成技术对
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