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研究报告

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2026年中国微机电系统(MEMS)行业营销发展调研与未来投资规划预测报告

第一章行业背景与概述

1.1微机电系统（MEMS）行业定义及分类

微机电系统（MEMS）是一种微型机械和电子系统，它集成了微米级的机械部件和微电子器件，通过半导体工艺制造而成。这些系统通常具有微小的尺寸，通常在微米至纳米尺度范围内，能够实现传统宏观系统所不具备的功能。MEMS技术起源于20世纪70年代的微电子领域，经过多年的发展，已经广泛应用于汽车、消费电子、医疗、航空航天、工业自动化等多个领域。

MEMS行业根据其应用领域和功能特点，可以分为多个子类别。首先是传感器领域，