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用于加工超光滑低损伤轴承钢表面的抛光液.doc

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    配方用于加工超光滑低损伤轴承钢表面的抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    研磨颗粒

    SiO2(80nm)

    2

    2

    2

    2

    2

    2

    复配金属缓蚀剂

    苯并三氮唑

    0.0596

    0.0596

    0.0596

    —

    —

    —

    噻唑

    0.0426

    —

    —

    0.0426

    —

    —

    4-甲基噻唑

    —

    0.0496

    —

    —

    0.0496

    —

    2，4一二甲基噻唑

    —

    —

    0.0566

    —

    —

    0.0566

    5一甲基-1H-苯并三氮唑

    —

    —

    —

    0.0666

    0.0666

    0.0666

    金属氧化剂

    过氧化氢

    1

    1

    1

    1

    1

    1

    金属络合剂

    氨基乙酸

    0.75

    0.75

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