Semiconductor Equipment (Shanghai) Co., Ltd. 中微半导体设备（上海）股份有限公司 半导体设备 等离子体刻蚀设备、MOCVD设备、硅通孔刻蚀设备、薄膜设备 说明书.pdf

中微半导体设备（上海）股份有限公司是一家以

中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司。中微公司基于

在半导体装备产业多年耕耘积累的专业技术，跨足半导体芯片前

端制造、先进封装、发光二极管生产、MEMS制造以及其他微观制

程的高端设备领域，其集成电路制造设备已被广泛应用于国际一

线客户从65纳米到5纳米及更先进的芯片加工工艺，中微公司开

发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备在全球氮化

镓基LEDMOCVD设备市场占据领先地位。中微公司的客户遍布中

国大陆和台湾、新加坡、韩国、日本、德国、意大利等国家和地区。

中微公司致力于开发微观加工的半导体

设备,这些设