深度解析(2026)《GBT 42902-2023碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法》.pptxVIP

深度解析(2026)《GBT 42902-2023碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法》.pptx

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一激光散射法如何成为第三代半导体“质检官”？专家视角深度剖析碳化硅外延片表面缺陷测试的核心原理与时代必然性

二从原理到仪器：一份关于激光散射法测试系统构成关键组件功能与集成要求的深度拆解与前瞻性技术指南

三“洁净”与“缺陷”的精准界定：(2026年)深度解析标准中表面缺陷分类体系形貌特征与散射信号的内在关联模型

四操作流程全透视：一步步拆解标准中的测试程序环境控制要点与确保结果可重复性的黄金准则

五数据如何说话？专家带你深度解读散射图像分析缺陷识别算法与结果报告撰写的科学方法与常见陷阱

六方法学的基石：关于激光散射法测试结果准确性重复性与再现性验证的深度评估体系与不确定度分析

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